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Ch25(4/6):SHE 模型概述

SHE 分布热载流子注入

要获得热载流子注入电流,需要准确了解非平衡电子能量分布。球谐展开(SHE)分布热载流子注入模型使用从半经典 Boltzmann 输运方程(BTE)的最低阶 SHE 获得的非平衡能量分布 来计算热载流子注入电流(参见第 891 页的"球谐展开方法")。

总热载流子注入电流从以下公式获得 [3]:

其中:

  • 是一个无量纲前置因子(默认
  • 是谷简并因子
  • 是电子从界面移动到势垒峰值而不散射的概率(参见第 886 页公式 867)
  • 是每个谷和每个自旋的态密度
  • 是电子速度的大小
  • 是包含镜像势垒降低的 WKB 近似获得的透射系数
  • 是绝缘体有效质量
  • 是沿半导体-绝缘体界面的积分

透射系数可以写成:

其中 是势垒高度。

要使用 SHE 分布热载流子注入模型,您必须通过求解 SHE 方法来获得分布函数(参见第 891 页的"球谐展开方法")。公式 879 表示镜像势垒降低。您可以使用以下命令关闭镜像势垒降低:

cpp
Physics(MaterialInterface="Silicon/Oxide") { ...
   GateCurrent( eSHEDistribution( -ImagePotential ) )
}

基于 Sentaurus TCAD 官方文档构建

代码块