Skip to content

Sentaurus Data Explorer 入门

NOTE

原文来源:Sentaurus Data Explorer User Guide, Version W-2024.09, Synopsys, Inc. PDF 源页码:第 1 章,对应 PDF 第 11–13 页

Sentaurus Data Explorer 功能概述

Sentaurus Data Explorer(TDX)是 Sentaurus TCAD 软件套件中的数据探索与格式转换工具,主要功能包括:

  • 在不同数据格式之间进行转换(TDR ↔ TIF ↔ DF–ISE)
  • 查看和操作 TDR、DF–ISE 等仿真结果文件
  • 提供 Tcl 接口用于自动化数据处理和修改
  • 支持镜像(Mirror)操作保持对称结构
  • 支持 IVL、PLX 等曲线文件的导入导出

TDX 是 Sentaurus 工具链中的数据中枢,负责各工具之间的格式兼容与数据传递。


支持的文件格式

Sentaurus Data Explorer 支持多种文件格式的相互转换,内部统一使用 TDR 格式作为中间表示。

输入文件格式

格式文件扩展名说明
DF–ISE.grd, .dat, .bnd, .pltISE 网格与数据格式
IVL.ivlIV 特性曲线格式
PLX.plxPlex 仿真输出格式
TDF.tdfTDR 数据格式(文本版)
TDR.tdrTDR 混合单元格式(二进制)
TIF.tif薄膜几何格式

输出文件格式

格式文件扩展名说明
DF–ISE.grd, .dat, .bnd, .pltISE 网格与数据格式
TDR.tdrTDR 混合单元格式(二进制)
TIF.tif薄膜几何格式

NOTE

Sentaurus Data Explorer 提供数据格式转换功能,但不支持从 DF–ISE 网格和 TDR 混合单元网格中提取 DF–ISE 边界。此功能由 Sentaurus Mesh 提供。


TCAD Sentaurus 教程:仿真项目

TCAD Sentaurus 教程提供了演示 Sentaurus Data Explorer 功能的示例项目。

访问教程的方式

方式一:通过 Sentaurus Workbench

  1. 在命令行输入 swb 打开 Sentaurus Workbench
  2. 从菜单栏选择 Help > Training
  3. 或点击工具栏上的培训图标

方式二:直接访问目录

bash
cd $STROOT/tcad/current/Sentaurus_Training

然后在浏览器中打开 index.html 文件浏览教程索引。


本章小结

  • TDX 是 Sentaurus 套件中的数据格式转换与探索工具
  • 支持 DF–ISE、IVL、PLX、TDF、TDR、TIF 等多种格式
  • 内部统一使用 TDR 格式作为中间表示
  • 教程项目可通过 SWB 或安装目录直接访问

基于 Sentaurus TCAD 官方文档构建

代码块