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第27章:能量相关参数

能量相关的能量弛豫时间

对于能量弛豫时间的说明,采用以下对方程936的修正形式:

其中,对于电子 ,对于空穴

方程936中的因子 定义,可以通过参数文件中的 tau_w_ele 和 tau_w_hol 值进行指定。

要激活能量相关的能量弛豫时间说明,必须将参数 Formula(tau_w_ele)(或对于空穴的 Formula(tau_w_hol))设置为2。

以下示例展示参数文件中能量弛豫时间部分的内容,并提供语法说明:

tcl
EnergyRelaxationTime
{ * Energy relaxation times in picoseconds
      tau_w_ele = 0.3   # [ps]
      tau_w_hol = 0.25 # [ps]
 * Below is the example of energy relaxation time approximation
 * by the ratio of two irrational polynomials.
 * If Wmax(interval-1) < Wc < Wmax(interval), then:
 * tau_w = (tau_w)*(Numerator^Gn)/(Denominator^Gd),
 * where (Numerator or Denominator)=SIGMA[A(i)(Wc^P(i))],
 * Wc=1.5(k*Tcar)/q (in eV).
 * By default: Wmin(0)=Wmax(-1)=0; Wmax(0)=infinity.
 * The option can be activated by specifying appropriate Formula
 * equals 2
 *      Formula(tau_w_ele) = 2
 *      Formula(tau_w_hol) = 2
 *      Wmax(interval)_ele =
 *      tau_w_ele(interval) =
 *      Numerator(interval)_ele{
 *        A(0) =
 *        P(0) =
 *        A(1) =
 *        P(1) =
 *        D    =
 *        G    =
 *      }
 *      Denominator(interval)_ele{
 *        A(0) =
 *        P(0) =
 *        D    =
 *        G    =
 *      }
 *      Wmax(interval)_hol =
 *      tau_w_hol(interval) =
                tau_w_ele = 0.3   # [ps]
                tau_w_hol = 0.25 # [ps]

                Formula(tau_w_ele) = 2
                Numerator(0)_ele{
                   A(0) = 0.048200
                   P(0) = 0.00
                   A(1) = 1.00
                   P(1) = 3.500
                   A(2) = 0.0500
                   P(2) = 2.500
                   A(3) = 0.0018100
                   P(3) = 1.00
                }
                Denominator(0)_ele{
                   A(0) = 0.048200
                   P(0) = 0.00
                   A(1) = 1.00
                   P(1) = 3.500
                   A(2) = 0.100
                   P(2) = 2.500
                }
}

以下示例展示分段线性说明能量弛豫时间的简化语法:

tcl
EnergyRelaxationTime:
{ * Energy relaxation times in picoseconds
      Formula(tau_w_ele) = 2
      tau_w_ele = 0.3        # [ps]

          Wmax(0)_ele = 0.5        # [eV]
          tau_w_ele(1) = 0.46      # [ps]

          Wmax(1)_ele = 1.0        # [eV]
          tau_w_ele(2) = 0.4       # [ps]

          Wmax(2)_ele = 2.0        # [eV]
          tau_w_ele(3) = 0.2       # [ps]

          tau_w_hol = 0.25         # [ps]
}

样条插值

Sentaurus Device 还支持使用样条近似来描述能量相关的能量弛豫时间。在这种情况下,电子能量弛豫时间的参数 Formula(tau_w_ele)(以及类似地,空穴能量弛豫时间的参数 Formula(tau_w_hol))必须等于3。

在 Spline(tau_w_ele)(或 Spline(tau_w_hol))关键字后的大括号内,每一行必须指定一组能量 [eV] 和 tau [ps] 值对。对于指定区间外的值,能量弛豫时间被视为常数,等于最近的边界值。

以下示例展示电子能量相关能量弛豫时间的样条近似说明:

tcl
EnergyRelaxationTime {
   Formula(tau_w_ele) = 3
      Spline(tau_w_ele) {
         0.     0.3    # [eV] [ps]
         0.5    0.46 # [eV] [ps]
         1.     0.4    # [eV] [ps]
         2.     0.2    # [eV] [ps]
      }
}

注意: 能量弛豫时间可以是能量相关的或摩尔分数相关的(请参阅第60页的突变和渐变异质结),但不能同时两者兼具。

能量相关迁移率

除了现有的能量相关迁移率模型(如 Caughey-Thomas 模型,其中有效场作为载流子温度的函数在 Sentaurus Device 内部计算)外,还可以定义更复杂的用户自定义迁移率模型。对于这种能量相关迁移率的说明,采用以下对方程936的修正形式:

其中,对于电子 或对于空穴 为低场迁移率。

要激活该模型,必须将 CarrierTempDrivePolynomial(驱动力关键字)指定为高场饱和迁移率模型的参数。多项式的参数必须在 HydroHighFieldMobility 参数集中定义。

以下示例展示 HydroHighFieldMobility 部分的输出以及系数说明:

tcl
HydroHighFieldDependence:
  { * Parameter specifications for the high field degradation in
    * some hydrodynamic models.
    * B) Approximation by the ratio of two irrational polynomials
    * (driving force 'CarrierTempDrivePolynomial'):
    * If Wmax(interval-1) < w < Wmax(interval), then:
    * mu_hf = mu*factor*(Numerator^Gn)/(Denominator^Gd),
    * where (Numerator or Denominator)={SIGMA[A(i)(w^P(i))]+D*Ni},
    * w=Tc/Tl; Ni(cm^-3) is total doping.
    * By default: Wmin(0)=Wmax(-1)=0; Wmax(0)=infinity.

        *    Wmax(interval)_ele =
        *    F(interval)_ele =
        *    Numerator(interval)_ele{
        *      A(0) =
        *      P(0) =
        *      A(1) =
        *      P(1) =
        *      D     =
        *      G     =
        *    }
        *    Denominator(interval)_ele{
        *      A(0) =
        *      P(0) =
        *      D     =
        *      G     =
        *    }
        *    F(interval)_hol =
        *    Wmax(interval)_hol =
            Denominator(0)_ele
    {
                A(0)   = 0.3
                P(0)   = 0.0
                A(1)   = 1.0
                P(1)   = 2.
                A(2)   = 0.001
                P(2)   = 2.500
                D      = 3.00e-16
                G      = 0.2500
            }
}

样条插值

对于方程938中的有理多项式,也可以使用样条插值。在这种情况下,必须在命令文件中的高场迁移率模型使用 CarrierTempDriveSpline 选项。

例如:

tcl
Physics {
   Mobility (
      HighFieldSaturation (CarrierTempDriveSpline)
   )
}

能量相关迁移率计算如下:

其中,函数 由参数文件中的一系列值对定义:

tcl
HydroHighFieldDependence {
   Spline (electron) {
      0   1
      1   1
      2   2.5
      4   4
      10 5
   }

   Spline (hole) {
      0   1
      1   1
      2   0.75
      4   0.5
      10 0.2
   }
}

给定的数据点通过三次样条进行插值。边界条件在端点处施加零导数。样条函数在端点之外保持常数。

能量相关 Peltier 系数

Sentaurus Device 允许对能量通量方程进行以下修正:

标准表达式对应于 。如果 ,则:

Sentaurus Device 允许用户指定函数

对于函数 的说明,采用以下对方程936的修正形式:

系数必须在 HeatFlux 参数集中指定,并且可以通过指定非零因子 来激活该依赖关系。

对于 ,结果为

以下是一个参数文件部分针对该函数 的示例:

tcl
HeatFlux
{ * Heat flux factor (0 <= hf <= 1)
      hf_n = 1       # [1]
      hf_p = 1       # [1]
 * Coefficients can be defined also as:
 *       hf_new = hf*(1.+Delta(w))
 * where Delta(w) is the ratio of two irrational polynomials.
 * If Wmax(interval-1) < Wc < Wmax(interval), then:
 * Delta(w) = factor*(Numerator^Gn)/(Denominator^Gd),
 * where (Numerator or Denominator)=SIGMA[A(i)(w^P(i))], w=Tc/Tl
 * By default: Wmin(0)=Wmax(-1)=0; Wmax(0)=infinity.
 * Option can be activated by specifying nonzero 'factor'.
 *       Wmax(interval)_ele =
 *       F(interval)_ele = 1
 *       Numerator(interval)_ele{
 *          A(0) =
 *          P(0) =
 *          A(1) =
 *          P(1) =
 *          G    =
 *       }
 *       Denominator(interval)_ele{
 *          A(0) =
 *          P(0) =
 *          G    =
 *       }
 *       Wmax(interval)_hol =
 *       F(interval)_hol = 1
          f(0)_ele = 1
        Denominator(0)_ele{
            A(0) = 1.
            P(0) = 0.
            A(1) = 1.
            P(1) = 2.
            G    = 1.5
        }
}

样条插值

对于方程943中的有理多项式,也可以使用样条插值。函数 由参数文件中的一系列值对定义:

tcl
HeatFlux {
   hf_n = 1
   hf_p = 1

   Spline (electron) {
      0   1
      1   1
      2   2.5
      4   4
      10 5
   }

   Spline (hole) {
      0   1
      1   1
      2   0.75
      4   0.5
      10 0.2
   }
}

给定的数据点通过三次样条进行插值。边界条件在端点处施加零导数。样条函数在端点之外保持常数。

基于 Sentaurus TCAD 官方文档构建

代码块