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生成几何结构
NOTE
原文来源:Sentaurus Structure Editor User Guide, Version W-2024.09, Synopsys, Inc. PDF 源页码:第 3 章,对应 PDF 第 75–141 页
建模单元与建模范围
在开始建模之前,需要确定:
- 长度单位:SDE 没有固定单位,你可以使用微米、纳米等任意单位,保持一致即可
- 建模范围:整个结构的 bounding box 大小,保证所有几何都在范围内
通常半导体器件建模使用微米(μm)作为单位。
创建新结构
File > New 创建空白结构,清除当前所有内容,开始新建。
设置交互式工作偏好
精确坐标
开启 Exact Coordinates 后,输入坐标时使用精确数值,否则按网格吸附 snapping 取整。
吸附(Snapping)
开启吸附后,鼠标点击位置会自动吸附到最近的网格点,方便对齐。网格间距可以在偏好设置中修改。
激活材料
创建新区域时,自动使用当前激活的材料。你可以从材料列表中选择激活材料。
区域命名
新建区域时,提示输入区域名称。良好的命名规范有助于 downstream 仿真中选择区域。
重叠行为
当两个区域重叠时,默认行为:
- Combine:合并为一个区域
- Cut:第二个区域从第一个区域中扣除
可以在偏好设置中修改默认重叠行为,也可以在每次操作时单独指定。
绘制基本二维形状
矩形
Geometry > 2D > Rectangle
参数:
- 两个对角顶点坐标
(x1,y1)(x2,y2)
正多边形
Geometry > 2D > Regular Polygon
参数:
- 中心坐标
- 半径
- 边数(≥ 3)
任意多边形
Geometry > 2D > Polygon
依次点击顶点位置,最后闭合到起点。
圆
Geometry > 2D > Circle
参数:
- 圆心坐标
- 半径
椭圆
Geometry > 2D > Ellipse
参数:
- 中心坐标
- x 方向半径
- y 方向半径
规则区域
Geometry > 2D > Ruled Region
给定两条不平行的边,生成连接它们的区域。
编辑二维形状
添加顶点
在边上点击 Add Vertex 添加新顶点,方便调整形状。
移动顶点
拖拽顶点可以改变位置,形状自动更新。
移动区域边
拖拽整条边平行移动,保持方向不变。
移动区域
拖拽整个区域移动到新位置。
删除顶点
删除选中顶点,相邻顶点自动连接。
圆角(Rounding)
对多边形顶点圆角处理:
- 选择顶点
- 输入圆角半径
- 自动倒圆角
倒角(Chamfering)
对顶点倒角:
- 选择顶点
- 输入倒角距离
- 自动生成斜切面
裁剪(Cutting)
用一个区域裁剪另一个区域:
- 选择被裁剪区域
- 选择裁剪区域
- 裁剪区域保留在外侧,剪掉相交部分
创建凸包
从一组零散顶点生成凸包:
- 选择所有顶点
- Geometry > Create Convex Hull
- 自动生成凸多边形包围所有顶点
分割结构
将一个连通区域分割为多个连通区域:
当布尔操作后产生多个不连通块,可以分割开单独命名。
简化二维结构
移除共线顶点,简化几何,减少网格划分负担:
Geometry > Simplify 2D Structure
对齐顶点
共线边上的顶点对齐到直线,改善网格质量。
合并共线边
相邻共线边合并为一条边,减少顶点数。
绘制基本三维形状
长方体
Geometry > 3D > Cuboid
参数:两个对角顶点 (x1,y1,z1) (x2,y2,z2)
圆柱体
Geometry > 3D > Cylinder
参数:
- 底面中心
- 半径
- 高度
- 轴线方向(x/y/z)
球体
Geometry > 3D > Sphere
参数:
- 球心坐标
- 半径
椭球体
Geometry > 3D > Ellipsoid
参数:
- 中心坐标
- 三个方向半径
其他基本三维形状
- ** cone**:圆锥
- wedge:楔块
- torus:圆环
导入用户数据
可以从外部导入点云、图像等数据,重建几何结构。
File > Import > User Data
创建分层透镜结构
Geometry > Create Layered Lens Structure
用于成像系统透镜设计,逐层定义折射率分布生成结构。
从面创建实体
Geometry > Create Solid From Faces
闭合面包围生成三维实体。
编辑三维形状
棱边倒角(Chamfering Edges)
选择棱边,输入倒角距离,生成倒角。
棱边圆角(Rounding Edges)
选择棱边,输入圆角半径,生成圆角。
锥度(Tapering)
对拉伸生成的实体添加锥度。
从一维/二维对象创建三维对象
拉伸(Extrusion)
将二维形状沿法线方向拉伸成三维:
- 选择二维轮廓
- 输入拉伸距离
- 选择拉伸方向
扫描(Sweeping)
将二维截面沿一条路径扫描拉伸成三维:
- 直线扫描:沿直线矢量拉伸
- 绕轴旋转扫描:绕轴旋转一周生成旋转体
- 沿导线扫描:沿任意导线形状扫描
- 扫掠选项:控制是否保留原始截面、是否 solid 等
蒙皮(Skinning)
由一系列截面曲线生成光滑过渡的三维实体:
- 默认蒙皮:自动拟合
- 法线蒙皮:使用指定法线
- 向量蒙皮:使用指定向量控制相切
- 向导蒙皮:使用引导曲线
- 共形算法蒙皮:...
具体选项根据复杂度选择,简单截面用默认即可。
线(Wires)
在三维空间中创建曲线,可以作为扫描路径使用。
布尔编辑操作
显式布尔运算
Geometry > Boolean
- Union:合并多个区域
- Intersection:保留相交部分
- Subtraction:A 减去 B
修改区域材料
Geometry > Change Region Material 改变选中区域的材料。
修改区域名称
Geometry > Change Region Name 重命名区域。
删除区域
Geometry > Delete Regions 删除选中区域。
分离结块
布尔操作后可能产生多个不连通结块,可以分离成独立区域分别命名。
三维结构切二维截面
Geometry > 2D Cut From 3D Structure 从三维结构切出二维截面,方便二维仿真使用。
Split–Insert 拉伸器件
增量修改现有器件结构,延伸长度。
扩展二维器件
在现有基础上向外部扩展区域。
修剪三维结构
用平面剪切三维结构,保留一侧。
本章要点
- 建模前确定单位,保持一致
- 从基本形状开始,通过布尔操作组合成复杂结构
- 二维可以拉伸旋转成三维
- 命名规范对 downstream 很重要