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生成几何结构

NOTE

原文来源:Sentaurus Structure Editor User Guide, Version W-2024.09, Synopsys, Inc. PDF 源页码:第 3 章,对应 PDF 第 75–141 页

建模单元与建模范围

在开始建模之前,需要确定:

  • 长度单位:SDE 没有固定单位,你可以使用微米、纳米等任意单位,保持一致即可
  • 建模范围:整个结构的 bounding box 大小,保证所有几何都在范围内

通常半导体器件建模使用微米(μm)作为单位。


创建新结构

File > New 创建空白结构,清除当前所有内容,开始新建。


设置交互式工作偏好

精确坐标

开启 Exact Coordinates 后,输入坐标时使用精确数值,否则按网格吸附 snapping 取整。

吸附(Snapping)

开启吸附后,鼠标点击位置会自动吸附到最近的网格点,方便对齐。网格间距可以在偏好设置中修改。

激活材料

创建新区域时,自动使用当前激活的材料。你可以从材料列表中选择激活材料。

区域命名

新建区域时,提示输入区域名称。良好的命名规范有助于 downstream 仿真中选择区域。

重叠行为

当两个区域重叠时,默认行为:

  • Combine:合并为一个区域
  • Cut:第二个区域从第一个区域中扣除

可以在偏好设置中修改默认重叠行为,也可以在每次操作时单独指定。


绘制基本二维形状

矩形

Geometry > 2D > Rectangle

参数:

  • 两个对角顶点坐标 (x1,y1) (x2,y2)

正多边形

Geometry > 2D > Regular Polygon

参数:

  • 中心坐标
  • 半径
  • 边数(≥ 3)

任意多边形

Geometry > 2D > Polygon

依次点击顶点位置,最后闭合到起点。

Geometry > 2D > Circle

参数:

  • 圆心坐标
  • 半径

椭圆

Geometry > 2D > Ellipse

参数:

  • 中心坐标
  • x 方向半径
  • y 方向半径

规则区域

Geometry > 2D > Ruled Region

给定两条不平行的边,生成连接它们的区域。


编辑二维形状

添加顶点

在边上点击 Add Vertex 添加新顶点,方便调整形状。

移动顶点

拖拽顶点可以改变位置,形状自动更新。

移动区域边

拖拽整条边平行移动,保持方向不变。

移动区域

拖拽整个区域移动到新位置。

删除顶点

删除选中顶点,相邻顶点自动连接。

圆角(Rounding)

对多边形顶点圆角处理:

  • 选择顶点
  • 输入圆角半径
  • 自动倒圆角

倒角(Chamfering)

对顶点倒角:

  • 选择顶点
  • 输入倒角距离
  • 自动生成斜切面

裁剪(Cutting)

用一个区域裁剪另一个区域:

  • 选择被裁剪区域
  • 选择裁剪区域
  • 裁剪区域保留在外侧,剪掉相交部分

创建凸包

从一组零散顶点生成凸包:

  • 选择所有顶点
  • Geometry > Create Convex Hull
  • 自动生成凸多边形包围所有顶点

分割结构

将一个连通区域分割为多个连通区域:

当布尔操作后产生多个不连通块,可以分割开单独命名。

简化二维结构

移除共线顶点,简化几何,减少网格划分负担:

Geometry > Simplify 2D Structure

对齐顶点

共线边上的顶点对齐到直线,改善网格质量。

合并共线边

相邻共线边合并为一条边,减少顶点数。


绘制基本三维形状

长方体

Geometry > 3D > Cuboid

参数:两个对角顶点 (x1,y1,z1) (x2,y2,z2)

圆柱体

Geometry > 3D > Cylinder

参数:

  • 底面中心
  • 半径
  • 高度
  • 轴线方向(x/y/z)

球体

Geometry > 3D > Sphere

参数:

  • 球心坐标
  • 半径

椭球体

Geometry > 3D > Ellipsoid

参数:

  • 中心坐标
  • 三个方向半径

其他基本三维形状

  • ** cone**:圆锥
  • wedge:楔块
  • torus:圆环

导入用户数据

可以从外部导入点云、图像等数据,重建几何结构。

File > Import > User Data


创建分层透镜结构

Geometry > Create Layered Lens Structure

用于成像系统透镜设计,逐层定义折射率分布生成结构。


从面创建实体

Geometry > Create Solid From Faces

闭合面包围生成三维实体。


编辑三维形状

棱边倒角(Chamfering Edges)

选择棱边,输入倒角距离,生成倒角。

棱边圆角(Rounding Edges)

选择棱边,输入圆角半径,生成圆角。

锥度(Tapering)

对拉伸生成的实体添加锥度。


从一维/二维对象创建三维对象

拉伸(Extrusion)

将二维形状沿法线方向拉伸成三维:

  • 选择二维轮廓
  • 输入拉伸距离
  • 选择拉伸方向

扫描(Sweeping)

将二维截面沿一条路径扫描拉伸成三维:

  • 直线扫描:沿直线矢量拉伸
  • 绕轴旋转扫描:绕轴旋转一周生成旋转体
  • 沿导线扫描:沿任意导线形状扫描
  • 扫掠选项:控制是否保留原始截面、是否 solid 等

蒙皮(Skinning)

由一系列截面曲线生成光滑过渡的三维实体:

  • 默认蒙皮:自动拟合
  • 法线蒙皮:使用指定法线
  • 向量蒙皮:使用指定向量控制相切
  • 向导蒙皮:使用引导曲线
  • 共形算法蒙皮:...

具体选项根据复杂度选择,简单截面用默认即可。


线(Wires)

在三维空间中创建曲线,可以作为扫描路径使用。


布尔编辑操作

显式布尔运算

Geometry > Boolean

  • Union:合并多个区域
  • Intersection:保留相交部分
  • Subtraction:A 减去 B

修改区域材料

Geometry > Change Region Material 改变选中区域的材料。

修改区域名称

Geometry > Change Region Name 重命名区域。

删除区域

Geometry > Delete Regions 删除选中区域。

分离结块

布尔操作后可能产生多个不连通结块,可以分离成独立区域分别命名。

三维结构切二维截面

Geometry > 2D Cut From 3D Structure 从三维结构切出二维截面,方便二维仿真使用。

Split–Insert 拉伸器件

增量修改现有器件结构,延伸长度。

扩展二维器件

在现有基础上向外部扩展区域。

修剪三维结构

用平面剪切三维结构,保留一侧。


本章要点

  • 建模前确定单位,保持一致
  • 从基本形状开始,通过布尔操作组合成复杂结构
  • 二维可以拉伸旋转成三维
  • 命名规范对 downstream 很重要

基于 Sentaurus TCAD 官方文档构建

代码块