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接触

NOTE

原文来源:Sentaurus Structure Editor User Guide, Version W-2024.09, Synopsys, Inc. PDF 源页码:第 6 章,对应 PDF 第 229–238 页

定义和激活接触

Contacts 是器件结构中与外部电极连接的区域,在 SDevice 仿真中需要指定电压/电流边界条件。

定义接触步骤:

  1. 选择要作为接触的边(2D)或面(3D)
  2. Contacts > Define Contact
  3. 输入接触名称
  4. SDE 自动创建接触区域并激活

TIP

接触名称必须合法,后续 SDevice 要使用该名称匹配边界条件。


删除接触

Contacts > Delete Contact 选择已定义接触删除。


分配边/面到接触

可以将多个边/面分配到同一个接触:

  1. 选择接触
  2. 选择要添加的边/面
  3. Contacts > Add to Contact

从接触移除边/面

  1. 选择接触
  2. 选择要移除的边/面
  3. Contacts > Remove from Contact

创建接触边/面

对于新建结构,你可以直接在几何上创建接触对应的边/面,不需要先创建几何区域再拆分。

Contacts > Create Contact Edge/Face 自动创建零厚度接触边界。


保护接触

在布尔运算和工艺仿真过程中,保护接触不被自动修改:

Contacts > Protect Contact 切换保护开关。

受保护的接触:

  • 布尔运算不会裁剪接触边界
  • 工艺步骤不会改变接触形状

接触分配示例

二维接触示例

器件类型接触位置
平面 MOSFET源漏区顶面、栅氧顶面
二极管阳极正面、阴极背面

三维接触示例

  • 功率 MOSFET:漏极衬底底面、源极正面、栅极多晶硅顶面

不同类型接触创建举例

创建多个二维接触

scheme
; 源接触
(sdegeo:create-rectangle 0 0.5 0 0.1 "silver" "source")
(sde-contacts:define source-contact)

; 漏接触
(sdegeo:create-rectangle 5 5.5 0 0.1 "silver" "drain")
(sde-contacts:define drain-contact)

; 栅接触
(sdegeo:create-rectangle 2 3 0.1 0.15 "polysilicon" "gate")
(sde-contacts:define gate-contact)

检查接触

在 SDE 中,接触会以高亮颜色显示在视图中,可以点击接触列表检查几何是否正确。

WARNING

必须确保:

  1. 接触覆盖完整的边/面
  2. 接触名称与 SDevice 边界条件中名称完全一致
  3. 接触没有被材料完全包围(必须暴露在边界上供电极连接)

本章小结

  • 接触是 SDevice 仿真边界条件的几何对应
  • 每个接触对应一个命名,必须唯一
  • 可以添加/删除边/面,保护接触不被修改
  • 命名一致性是下游仿真成功的关键

基于 Sentaurus TCAD 官方文档构建

代码块